真空スイッチシリ−ズ SVS-1/SVS-5/SVS-6/SVS-7/SVS-18/可調整VD |
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SVS-6シリ−ズ（絶対圧基準高真空スイッチ） |
0.7〜20kPa(5〜150Torr)という高真空スイッチです。 真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置等に数多く使用されています。 取りつけは、フランジ型となっております。 |
| PDF ｶﾀﾛｸﾞ |
機種名 | 特徴 | 真空度範囲 | 耐圧 |
| kPa （Torr) |
kPa （ｋg/cm2） |
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| SVS-6 | 標準型絶対圧基準高真空スイッチです。 | 0.7〜20 (5〜150） |
150 （1.5） |
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| SVS-6WP | 端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチです、配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外径φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。 | 0.7〜20 (5〜150） |
150 （1.5） |
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