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SVS-6WP |
堅牢なアルミダイカストのカバ−を用いた端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチです。 真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為、気圧の変動を受けにくい構造になっています。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。 取りつけは、フランジ型となっております。 |
 相フランジ(オプション） |
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| 標準仕様 単位: kPa (Torr) | ||
| SVS-6WP-A(接液部材質 真鍮） | SVS-6WP-B(接液部材質 ステンレス） | |
| 圧力調整範囲 （圧力レンジ） |
0.67〜20 (5〜150） | 0.67〜20 (5〜150） |
| 開閉圧力差 | 0.67〜13 (5〜100) | 1.33〜13 (10〜100) |
| 耐圧力 | 150 (1.5kg/cm2) | 150 (1.5kg/cm2) |
| 標準設定 | 0.67−1.33（5−10） | 0.67−2.0（5−15） |
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