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| SVS-6 |
| 標準型絶対圧基準高真空スイッチです。 真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為、気圧の変動を受けにくい構造になっています。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置等に数多く使用されています。 取りつけは、フランジ型となっております。 |
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| 標準仕様 単位: kPa (Torr) | ||
| SVS-6 | ||
| 圧力調整範囲 （圧力レンジ） |
0.67〜20 (5〜150） | |
| 開閉圧力差 | 0.67〜13 (5〜100) | |
| 耐圧力 | 150 (1.5kg/cm2) | |
| 標準設定 | 0.67−1.33（5-10） | |
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